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光學微電子「無塵車間」凈化工程


作者: 來源:http://www.marjoriescracked.com/ 時間:2019-02-27 點擊次數?? ??/span>
近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于領先地位。
  光學微電子凈化工程一般包括:
  1、 潔凈生產區
  2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
  3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
  4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
  光學微電子凈化工程凈化原理
  氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
  光學微電子凈化工程凈化參數
  換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
  平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
  溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
  噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
  光學微電子凈化工程結構材料
  1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

  2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。

     3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

   4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。



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