凈化工程產品操控如硅芯片等所觸摸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個杰出之環境空間中出產、制作。此空間的設計施工進程即可稱為凈化工程。凈化工程分類亂流式空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩邊隔間墻板或高架地板?；仫L。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀況，此型式適用于潔凈室等級。
長處：結構簡略、體系締形成本低，潔凈室的擴大比較簡單，在某些特殊用處場所，可并用無塵作業臺，進步潔凈室等級。缺陷：亂流形成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。別的若體系中止作業再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時適當長一段時間。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由掩蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩邊隔墻板回風。
此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境運用，一般其潔凈室等級為Class1~100.其型式可分為二種：水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻面之回風體系回風，塵土隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。長處：結構簡略，作業后短時間內即可變成安穩。缺陷：締造費用比亂流式高，室內空間不易擴大。
筆直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或作業人員所產生的塵土可快速排出室外而不會影響其它作業區域。長處：辦理簡單，作業開端短時間內即可達安穩狀況，不易為作業狀況或作業人員所影響。缺陷：結構費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架適當占空間，修理替換過濾器較費事。
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。潔凈地道以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或作業區域100%掩蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節約裝置作業費用。此型式需將作業人員之作業區與產品和機器修理予以阻隔，以防止機器修理時影響作業及質量。ULSI制程大都選用此種型式。
潔凈地道還有二項長處，彈性擴大簡單； 修理設備時可在修理區輕易履行。潔凈管道將產品流程通過的自動出產線圍住并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境彼此阻隔，少數之送風即可得到杰出之潔凈度，可節約能源，不需人工的自動化出產線為最適合運用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
凈化工程
